氮化硅锰合金是氮化硅、氮化锰和氮化铁的固溶体，现已广泛应用于制备取向硅钢、超高温燃气透平，飞机引擎，透平叶片和热交换器等。其中氮化硅具有高温热稳定性、柯昂热震性、抗冷热冲击性、化学稳定性、良好的电绝缘性等优点。而锰在炼钢中起着脱硫作用，能消除或减弱因硫引起的热脆性，从而可提高钢的热加工性能；锰同时能细化珠光体晶粒并提高珠光体钢的强度，且提高钢的淬透性。
常规氮化硅锰生产采用真空电阻炉进行，工艺过程是将原料经过球磨、压块后，在870~1370℃，氮气气氛下制备而成，产物的含氮量约为26%。常规法的不足之处在于，物料的氮化时间长，因此能耗高。
采用微波推板窑或高温微波梭式窑和微波氮化工艺，可以在较短时间内实现物料的加热升温，缩短生产周期，同时节省能耗；另外，由经验可得，微波工艺对氮化反应有促进作用，因此产物的氮含量有所提高。