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微波硅粉氮化法制备纳米级氮化硅粉体
作者:发布时间:2014-06-19 09:37:40点击率:698
氮化硅是一种性能优异的陶瓷材料,具有高温条件下保持高强度、低密度,良好的抗腐蚀性、耐磨性、热震性、蠕变性,以及优异的化学稳定性,并具有自润滑效果。因此,纳米氮化硅粉末常用于制备复合材料,在复合材料中能形成细微的弥散相,从而大大提高复合材料的综合性能。
氮化硅还是一种宽禁带半导体,可以获得较高的掺杂浓度,从而具备成为优良宿主材料的潜力,可应用于微电子和光电子领域,并能通过掺杂从而调整其电子和光学性能。


硅粉氮化法是氮化硅粉体的主要工业制备方法,但由于常规工艺中,硅粉氮化一般会在氮化硅颗粒中留下硅芯;而为实现充分氮化,往往反应温度较高,氮化的时间较长,因此得到的粉体粒径分布宽、颗粒粗大。采用微波气氛烧结炉及微波工艺对硅粉进行氮化,与常规电加热由表及里的加热方式不同,微波加热是硅粉在微波场内介质损耗自热,整体加热的方式利于硅粉氮化,可以有效克服“硅芯”问题,且氮化时间短、温度低,因此得到的氮化硅粉末纯度高、颗粒细小,粒径均匀。

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