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微波硅粉氮化法制备纳米级氮化硅粉体
作者：发布时间：2014-06-19 09:37:40点击率：912
氮化硅是一种性能优异的陶瓷材料,具有高温条件下保持高强度、低密度，良好的抗腐蚀性、耐磨性、热震性、蠕变性，以及优异的化学稳定性，并具有自润滑效果。因此，纳米氮化硅粉末常用于制备复合材料，在复合材料中能形成细微的弥散相，从而大大提高复合材料的综合性能。
氮化硅还是一种宽禁带半导体，可以获得较高的掺杂浓度，从而具备成为优良宿主材料的潜力，可应用于微电子和光电子领域，并能通过掺杂从而调整其电子和光学性能。
硅粉氮化法是氮化硅粉体的主要工业制备方法，但由于常规工艺中，硅粉氮化一般会在氮化硅颗粒中留下硅芯；而为实现充分氮化，往往反应温度较高，氮化的时间较长，因此得到的粉体粒径分布宽、颗粒粗大。采用微波气氛烧结炉及微波工艺对硅粉进行氮化，与常规电加热由表及里的加热方式不同，微波加热是硅粉在微波场内介质损耗自热，整体加热的方式利于硅粉氮化，可以有效克服“硅芯”问题，且氮化时间短、温度低，因此得到的氮化硅粉末纯度高、颗粒细小，粒径均匀。
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